超高精CNC 视像测量系统 Quick Vision ULTRA
Quick Vision ULTRA
361 系列 — 超高精CNC 视像测量系统
特点
• 采用高精度气浮轴承线性导轨系统,从而将直线度误差减少到最小。
• 采用分辨率为
• 通过使用虚拟零度热膨胀的玻璃光栅尺,将温度变化对精度的影响减少到最低。
• 使用有限元方法(Finite Element Method) 分析优化主机的机械结构。
• 稳定的几何精度(如:每个轴的直线度和垂直度) 以降低热效应影响。
ULTRA QUICK VISION 装备有这种分辨率为0.01μm 和
线性膨胀系数为0.08x10-6/k 的水晶玻璃光栅尺。
该虚拟零度热膨胀系数意味着Ultra Quick Vision 可
以将由温度变化产生的影响降到最低。
选件
02ALA400: 1X 物镜
02ALA150: 1X 物镜 (SL 型)
02ALA410: 2.5X 物镜
02ALA170: 2.5X 物镜 (SL 型)
02ALA420: 5X 物镜
02AKN020: 校准用标准图
02APS880: 操作杆盒
型号 |
ULTRA QV350-PRO |
测量范围X 轴 |
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Y 轴 |
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Z 轴 |
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分辨率 |
0.01μm |
高灵敏度CCD 照相机 |
黑白 |
精度* E1XY (20° C± E2XY |
(0.3+L/1000)μm |
(3+ | |
(0.5+ | |
最大驱动速度(X/Y/Z)轴 |
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照明 表面 (PRL : 可编程环行灯) 轮廓 PRL |
卤素灯 |
卤素灯 | |
卤素灯 | |
放大倍率变化系统 |
可编程电动转盘 |
工作台玻璃尺寸 |
438 x |
最大工件负载 |
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尺寸 (W x D x H) *** |
890 x 1326 x |
重量*** |
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* 测量精度在以下条件下定义
可编程电动转盘:1X,物镜套装:5X
L:任意两点间距离(mm)
** 包括机器台架