FormtracerExtreme(超级表面粗糙度/轮廓测量装置)CS-H4000CNC

525系列—CNC形状测量仪

特点

•高精度测针型CNC表面测量仪可以同时

进行表面粗糙度和形状／轮廓的测量。

•X1轴和Z2轴的最大驱动速度分别为

40mm/s和200mm/s，可以高速定位，从而

提高了多重轮廓／多工件测量的效率。

•X1轴和Z1轴上装有三丰激光全息光栅

尺，从而可以实现高分辨率(X1轴分辨

率：6.25nm,Z1轴分辨率：4nm/8nm)的轮

廓／形状测量、表面粗糙度的测量和批

次测量。

•Z1轴检测器采用主动控制方式，减少Z1

轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。

•Z1轴检测器集成了防碰撞安全装置，当

仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检

测装置可以自动停止工作。

•带有Y轴工作台的型号，可沿Y轴进行多

工件定位，从而增加了多工件测量范围。

•提供易于操作的遥控箱，用户可以通过这

两个操纵杆选择合适的轴进行移动。在

按键上标有易于理解的图形显示轴的选

择状态。

•通过USB端口与数据处理／分析装置(选

件)进行信息交换。

技术参数:

X1轴

测量范围:100mm

分辨率:0.00625μm

检测方法:激光全息光栅尺

驱动速度:最大40mm/s(CNC模式)

0-40mm/s(操纵杆控制模式)

测量速度:0.02-0.2mm/s(表面粗糙度)

0.02-2mm/s(形状／轮廓)

移动方向:向前／向后

直线度:(0.05+0.0003L)μm

指示精度(20°C):±(0.16+0.001L)μm

L为驱动长度(mm)

Z1轴

测量范围:12mm

分辨率:0.001μm

测针上／下运作:弧形运动

检测方法:激光全息光栅尺

指示精度(20°C):±(0.07+I0.02HI)μm

H为测量高度(mm)

测力:4mN

跟踪角度:向上60°、向下60°

(取决于表面粗糙度)

测针针尖:半径:5μm,角度：40°、钻石

(球型测针)(半径:0.25mm,蓝宝石)

测针方向:向下

Z2轴(立柱)

测量范围:300mm

分辨率:0.05μm

检测方法:反射型线性编码器

驱动速度:最大200mm/s(CNC模式)

0-50mm/s(操纵杆控制模式)

基座尺寸(WxD):600x550mm

基座材料:花岗岩

尺寸(WxDxH):600x570x992mm

重量:190kg

软件选件

FORMTRACEPAK

使用该软件可以控制马达驱动的Y轴工作台和旋转台

选件，从而实现自动测量。使用该软件还可以进行轮

廓评估，这项评估包括对级差，角度，深度，面积和

其他基于表面粗糙度数据的特性进行分析。另外，还

可以通过设置打印格式建立原始检测证书，以适应不

同的需求。

测针

12AAJ037:标准长度测针(针尖半径5μm)

12AAD544:标准长度球型测针

12AAD651:用于小孔的标准长度探针

12AAD652:用于极小孔的标准长度测针

12AAD653标准长度离心测针

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