Surftest(表面粗糙度测量仪)SV-3100

Surftest(表面粗糙度测量仪)SV-3100

178系列—表面粗糙度测量仪

表面粗糙度测量仪SV-3100系列产品可进行高精度、高水平分析和多功能粗糙度测量。

 

特点

三丰表面粗糙度测量仪SV-3100系列产品可进行高精度、高水平分析，多功能3D表面粗糙度分析，微细轮廓测量，以及原有的表面粗糙度测量。

自动调水平工作台、3轴调整台等外部设备的应用，有效增强了该产品的操作性能，同时也真正实现了自动测量。

安装了专业资料分析软件SURFPAK-SV使用这一软件，可对从车间和实验室中得到的资料进行统一格式的管理。

采用陶瓷制作的X轴驱动部导轨，因为陶瓷具有极好的防磨损性能。无需润滑油也能正常工作。

为了保证高精度测量，在X轴和Y轴(选件)上都内置了高清晰度的玻璃尺(X轴分辨率：0.05μm,Y轴分辨率：1μm)因为要保证SV-3100系列产品具有高度的可靠性，特别是对于水平粗糙度参数(S,Sm),X轴的分辨率就必须达到相当的水平。

配有高精度测针。

配有多种功能，如“直线度补偿功能”，可确保X轴的线性精度；“圆度补偿功能”，可保证测针的垂直移动；以及“针尖半径补偿功能”等。

测针和测针导头都可轻松替换。可选测针和滑轨可适应各种粗糙度测量的需要，如小孔测量、深孔测量等。

在各种型号中，还提供了易于操作的控制箱。控制箱与主机分离，可遥控执行定位、开始／停止测量、返回以及远程进行其他操作。驱动部的上／下位置和X轴的移动都可手动进行微调。

 

技术参数

X轴

　测量范围:100mm或200mm

　分辨率:0.05μm

　检测方法:线性编码器

　驱动速度:0-80mm/s

　测量速度:0.02-5mm/s

　移动方向:向后

　直线度:(0.05+1L/1000)μm*

(0.5μm/200mm:测量范围为200mm的型号)

　倾角范围:±45º

Z2轴(立柱)

　垂直移动:300mm或500mm、动力驱动

　分辨率:1μm

　检测方法:ABSOLUTE线性编码器

　驱动速度:0-20mm/s

检测器

　范围／分辨率:800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,

8μm/0.0001μm(使用测头选件

时，最大可达2400μm)

　检测方法:无轨／有轨测量

　测力:4mN或0.75mN(低测力型)

　测针针尖:金刚石、90º/5μmR

(60º/2μmR:低测力型)

　导头曲率半径:40mm

　检测方法:差动电感式

基座尺寸(WxH):600x450mm或1000x450mm

基座材料:花岗岩

尺寸(WxDxH):756x482x966mm(S4型)

756x482x1166mm(H4型)

1156x482x1176mm(W4型)

766x482x966mm(S8型)

766x482x1166mm(H8型)

1166x482x1176mm(W8型)

重量140kg(S4,S8型)

150kg(H4,H8型)

220kg(W4,W8型)

*L为驱动长度(mm)

 

评估能力:SURFPAK-SV

评估轮廓

　P(主轮廓),R(表面粗糙度轮廓),WC,WCA,WE,WEA,　　

　DIN4776轮廓、包络残余线、粗糙度motif、波形motif

评估参数

　Ra,Rq,Rz,Ry,Rz(JIS),Ry(DIN),Rc,Rp,Rpmax,Rpi,Rv,Rvmax,Rvi,

　Rt,Rti,R3z,R3zi,R3y,S,Pc(Ppi),Sm,HSC,mr,c,plateauratio,

　mrd,Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,a,q,a,q,Sk,Ku,Lo,Lr,A1,

　A2

　粗糙度motif参数:Rx,R,AR,SR,SAR,NR,NCRX,CPM

　波形motif参数:Wte,Wx,W,AWSW,SAW,NW

分析图表

　ADC,BAC1,BAC2、功率谱图、自相关图、Walsh功率

谱图、Walsh自相关图、倾斜分布图、局部峰值分布图、

参数分布图

滤波类型2CR-75%,2CR-50%,2CR-75%(相位校正),

　2CR-50%(相位校正),高斯-50%

截止波长*

　c:0.025mm,0.08mm,0.25mm,0.8mm,2.5mm,8mm,25mm

　fl:0.08mm,0.25mm,0.8mm,2.5mm,8mm,25mm

　fh:0.08mm,0.25mm,0.8mm,2.5mm,8mm

取样长度(L)*

　0.025mm,0.08mm,0.25mm,0.8mm,2.5mm,8mm,25mm

取样长度

　倾斜补偿、R平面(曲面)补偿、椭圆补偿、抛物线补偿、

　双曲线补偿、二次曲线自动补偿、多项式补偿、

　多项式自动补偿

可在0.025mm至最大移动长度间指定任意长度。

 

选件

178-611:阶差样板(2μm,10μm)

178-612:阶差样板

(2μm,10μm,79μinch,394μinch)

178-610:公制型4段阶差样板

(1μm,2μm,5μm,10μm)

178-047:三轴调整台(包括998291)

178-016:调水平工作台

178-042-1:DigimaticXY调水平工作台(25x25mm)

178-052-1:DigimaticXY调水平工作台(1"x1")

178-043-1:XY调水平工作台(25x25mm)

178-053-1:XY调水平工作台(1"x1")

178-019:精密卡钳*

998291:精密V型块*

181-902:带夹钳的V型块

(最大工件直径:25mm)

181-901:带夹钳的V型块

(最大工件直径:1")

178-023:防震台

178-024:防震台架

218-007:仪器放置台

166-215:仪器放置台(带有抽屉)

218-010:辅助台

218-008:辅助台

 

性能参数：